AM シリーズ 電動ステージ

AM シリーズは弊社取扱ラインアップの中で最小の電動ステージです。直線上でマイクロンレベル精度のポイント・ツー・ポイント動作を提供します。

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モデル

AM1-0401-3S

AM1-0602-3S

AM1-0803-3S

AM1-0806-3S

仕様

0401-3S

602-3S

803-3S

806-3S

テーブル寸法 (mm)

40 x 40

60 x 60

80 x 80

80 x 130

動作範囲 (mm)

10

20

30

60

分解能 (mm/pulse)

(フルステップ)

0.002

0.002

0.002

0.002

最大速度 (mm/sec)

20

20

20

20

精度

5 um

5 um

5 um

5 um

繰り返し精度

±1um

± 1um

± 1um

± 1um

双方向繰り返し精度

± 2um

± 2um

± 2um

± 2um

ピッチング

25″

30″

25″

25″

ヨーイング

20″

25″

20″

20″

平行度 (mm)

0.02

0.02

0.02

0.02

運動の平行度 (mm)

0.01

0.01

0.01

0.015

真直度 (mm)

0.005

0.008

0.008

0.008

負荷 (Kg)

3

5

15

15

重量 (Kg)

0.31

0.44

1.4

1.8